氣體質(zhì)量流量控制器是質(zhì)譜、色譜和燃燒分析等分析技術的關鍵部件。例如作為ICP-MS裝置的一部分，緊湊型氣體流量儀表用于向反應單元供氣。 

氣體質(zhì)量流量計適合此類要求嚴格的穩(wěn)定氣體流量控制、緊湊型、穩(wěn)定以及與使用氣體兼容的過程。在許多分析應用中，一個常見的因素是需要微小的穩(wěn)定氣流（流量范圍：5 ml/min-1000 L/min），因為氣流及其變化在測量中是直接可見的，氣流穩(wěn)定很重要。

氣體流量控制器是一款適用于各種不同氣體類型的儀表，適用于較小氣體流量例如5 ml/min-1000 L/min的工藝氣體之間。

在分析設備中，載氣流量直接影響測量結果。例如一種物質(zhì)在色譜柱中的保留時間直接取決于流體的穩(wěn)定性。當流量波動時，測量也會波動。