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氣體質(zhì)量流量計(jì)，該儀器無(wú)需溫壓補(bǔ)償，就能直接測(cè)出氣體的質(zhì)量流量，避免了溫度、壓力變化對(duì)測(cè)量結(jié)果的干擾，在復(fù)雜實(shí)驗(yàn)條件下表現(xiàn)好

Alicat 大流量氣體流量計(jì)測(cè)量范圍廣，可達(dá) 0.5 SCCM - 10000 SLPM。采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，能使大流量下氣體保持層流。內(nèi)置絕壓和溫度傳感器，可對(duì)壓力、溫度引起的流量差異進(jìn)行補(bǔ)償。具有 NIST 可溯源校準(zhǔn)證書。產(chǎn)品為數(shù)字化設(shè)計(jì)，可多參數(shù)顯示和輸出，響應(yīng)時(shí)間快，內(nèi)置多種氣體，還可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體，廣泛應(yīng)用于工業(yè)爐窯、半導(dǎo)體、汽車制造等多種流量測(cè)控場(chǎng)合。